Silicon Austria Labs –Deep Ultraviolet (DUV) Lithography Systems
Art des Dokuments
Vergebener Auftrag
Veröffentlicht am
02.12.2025
Ort der Leistungserbringung
Graz (Steiermark)
Gewerke
Laborausrüstung
Kurzbeschreibung
The aim of the procurement procedure was to commission the best bidder identified in the course of the procurement procedure to supply and install a deep ultraviolet (DUV) KrF-based exposure stepper (hereinafter referred to as “stepper”) for Silicon Austria Labs GmbH.