Lieferung, Installation, Test- und Abnahme eines EBL (Electron Beam Lithography system) am Campus des ISTA.
Art des Dokuments
Vergebener Auftrag
Veröffentlicht am
08.02.2026
Ort der Leistungserbringung
3400 Klosterneuburg (Niederösterreich)
Gewerke
Laborausrüstung
Kurzbeschreibung
EBL - Electron beam lithography system